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SQC-310(C) 薄膜沉積控製器
高精度連續鍍膜控製或共鍍膜控製—來自技術優越者
具有先進的電子學,改進的顯示器,和非常高的性價比,INFICONSQC310係列為您提供其它生產廠薄膜控製儀所沒有的性能與特色.同時可為您的應用選擇理想的模式:順序鍍膜(SQC310)或並行鍍膜(SQC310C).用於順序鍍膜,SQC310裝備有2個傳感器輸入,2個 源輸出,和8個數字輸入/輸出,提供為這些數量加倍的擴展插件板選件. 用於並行鍍膜,SQC310C控製儀監測多至4個石英晶體傳感器,帶有4個PID控製輸出,16個數字輸入,和16個繼電器輸出, 與SQC310 的規範相同.
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特點
■ 高亮度,¼VGA活性點陣彩色LCD顯示器–可顯示英文或中文.
■ 標準RS-232和USB(有以太網選件).
■ 易設置和操作,有“快速設置” 菜單,6個上下文-敏感的按鈕,和方便的參數設定旋鈕.
■ Windows® 程序用於開發,測試,和下載工藝過程, 和將儀器數據記錄至您的PC上, 用於過程分析與質量控製.
■ 準確的過程控製,尤其用於低澱積率,在10 讀值/秒時的分辨率為±0.03Hz,在0至50°C溫度範圍內的頻率穩定性為±2ppm.
■ 貯存容量高至100個工藝過程,1,000個膜層,50 個膜係.
■ 用單傳感器或多傳感器監測源材料, 提供準確的源分布監測.