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  • 向日葵视频在线观看型號:Guardian EIES
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簡單介紹:
美國英福康Guardian EIES 高精度控製器,SQC310膜厚控製儀,薄膜沉積控製器 可將沉積速度控製在 0.1 到 10,000 Å/s 範圍內。它可以操作一個或兩個傳感器,*多 8 個光輸入,並控製*多 8 個沉積源,因此能夠同時沉積*多 8 種材料。美國英福康Guardian EIES 高精度控製器,SQC310膜厚控製儀,薄膜沉積控製器
詳情介紹:

美國英福康Guardian EIES 高精度控製器,SQC310膜厚控製儀,薄膜沉積控製器
可同時沉積至多八種材料

CIGS 薄膜的理想之選

美國英福康美國英福康Guardian EIES 高精度控製器,SQC310膜厚控製儀,薄膜沉積控製器 可將沉積速度控製在 0.1 到 10,000 Å/s 範圍內。它可以操作一個或兩個傳感器,*多 8 個光輸入,並控製*多 8 個沉積源,因此能夠同時沉積*多 8 種材料。

INFICON 美國英福康Guardian EIES 高精度控製器,SQC310膜厚控製儀,薄膜沉積控製器 是光伏模塊、有機發光二極管、光伏、超導薄膜以及分子束外延製造等應用的理想之選。

Guardian Codeposition 係統基於電子碰撞發射光譜 (EIES)。通過運用 EIES,要沉積的材料在熱離子發射體的作用下生熱,從而產生光子。 產生的光通過濾光器,到達光電倍增管 (PMT)檢測儀,光電倍增管檢測儀可以測量通過的波長的發射強度。 然後 INFICON Guardian 控製器產生 信號來控製該材料源。配備了合適濾光器的其它檢測儀可用於多種材料。 

一套完整的 Guardian 係統至少包括一個傳感器、一個 PMT 檢測儀、一個濾光器、一個 Guardian 控製器單元以及一台安裝了 Guardian 軟件的電腦(由用戶提供)。 EIES 通常用於控製多種材料的沉積,因此,大多數 EIES 係統還包括其他傳感器、檢測器、光學器件(例如分裂器)以及 QCM,QCM 用於校準或控製某些材料的沉積速率。 如需關於典型係統的更多信息,請參閱下麵的 Downloads(下載)選項卡中的《Guardian 配置指南》。

要配置 美國英福康Guardian EIES 高精度控製器,SQC310膜厚控製儀,薄膜沉積控製器 共沉積係統,需要考慮以下幾點
沉積材料的初級和二級發射波長為多少?

如果不同材料的峰值過於 相近,您可能需要監控二級發射波長, 二級波長的信號強度較弱。

在沉積過程中,真空室中存在哪些本底氣體? 這些本底氣體的發射波長 是多少?

如果本底氣體的發射幹擾了沉積材料,則建議使用氣體補償傳感器。

對於特定發射光譜的原子種類, EIES 是*為有效的。分子種類產生的發射光譜不穩定或者 過寬,無法準確測量。不建議將 EIES 用於有機材料。各個具體應用的 *佳 EIES 係統配置由以上因素及其他因素確定。

美國英福康Guardian EIES 高精度控製器,SQC310膜厚控製儀,薄膜沉積控製器功能

1) 監控和控製多達 8 種材料的同時沉積過程
2) 從 0.1 至 10,000 Å/s 的沉積速率
3) 集成式 EIES 和 QCM 薄膜過程控製
4) 12 個繼電器輸出和 16 個數字輸入
5) 用於設置與操作的基於 Windows 的軟件
6) 與 INFICON Sentinel® 傳感器兼容