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益處
- 高生產力 - 響應時間快於 2ms
- 靈活集成 - EtherCAT 現場總線
- 使用壽命長 - 經驗證的陶瓷傳感器
- 忘記重新校準 - 90ppm/年全方位穩定性
典型應用
- 原子層沉積
- 高速過程控製
- PVD、CVD、刻蝕
- 一般高溫真空應用