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文章詳情

真空計種類那麽多,如何選擇才*好?

日期:2020-11-10 18:13
瀏覽次數:3134
摘要: 真空計種類那麽多,如何選擇才*好? 2017-10-11 INFICON英福康 一、皮拉尼真空計 ※1皮拉尼真空計原理 · 加熱電阻絲,使之升溫至需要的工作溫度 · 由於氣體粒子與電阻絲碰撞離開時帶走了能量,電阻絲的溫度會發生變化 · 熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關係 ※2衍生出兩種類型的皮拉尼規 1)穩定溫度,測量施加的電壓變化等效測量真空度(INFICON PSG500) 2)穩定電壓,測量溫度變化等效測量真空度(熱偶規) ...

真空計種類那麽多,如何選擇才*好?

2017-10-11 INFICON英福康

一、皮拉尼真空計

   

1皮拉尼真空計原理

· 加熱電阻絲,使之升溫至需要的工作溫度

· 由於氣體粒子與電阻絲碰撞離開時帶走了能量,電阻絲的溫度會發生變化

· 熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關係

     

2衍生出兩種類型的皮拉尼規

1)穩定溫度,測量施加的電壓變化等效測量真空度(INFICON PSG500

2)穩定電壓,測量溫度變化等效測量真空度(熱偶規)

3氣體的熱傳導,與下列提條件有關

1)氣體類型

2)壓力大小

     

4皮拉尼真空計測量範圍與精度

測量範圍(空氣,氧氣,一氧化碳,氮氣):5 x 10-4 1000 mbar

精度(氮氣)

1x 10-3… 100毫巴   ±15%

5 x 10-4… 1 x 10-3毫巴   ±50%

100 ... 1000毫巴   ±50%

5皮拉尼真空計的優特點

燈絲部分在不影響精度與速度的情況下,加以*大的保護,大大延長了燈絲的使用壽命。

     

6皮拉尼真空計具體型號

      

· PSG050/051

· PSG100-S  PSG101-S

· PSG500/500-S PSG502

· 皮拉尼電容膜片複合真空計PCG400 PCG410 PCG550

1)有皮拉尼規與特製的陶瓷薄膜規合成在一起

2)兩種原理的規管全過程都工作

3100 mbar—1000 mbar 使用薄膜規信號

41 mbar– 100mbar 兩規信號同時采用

55x10-4mbar –1 mbar 采用皮拉尼信號

6)輸出的真空度信號(電壓)連續,無跳躍

7皮拉尼真空計應用行業

· 各種高真空泵的前級壓力測量,如光伏、鍍膜、等離子行業

· 各種中低真空測量,如照明,冶金

· 真空連鎖控製,高真空計的點火開關控製,如PEG100

· PSG050可完全替代TR211PSG051可完全替代TR216

· PCG400 PCG410(現在已升級為PCG550PCG400/PCG410已經停產)與PSG500 基本相同,但彌補了皮拉尼規大氣測量段精度不足的弱點,而且不受氣體類型的影響,在真空爐,單晶爐,多晶爐,藍寶石爐上廣泛應用 

· PSG100 PSG101,與PSG500/PSG050基本相同,但以為具有通訊協議功能,在大係統中應用廣泛

     

二、電容薄膜規

CDG025D/CDG045/100/160/200

      

1電容薄膜規工作原理

· 壓力使膜片變形,變形量與壓力大小成比例關係

      

· 通過測量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量測量真空度

      

2電容薄膜規特點

· 以可靠的超純陶瓷傳感器室為基礎構成

· 在嚴酷和腐蝕性環境中,穩定與可靠的高精度壓強測量

· 快速的預熱和恢複時間,提高生產率

· **的長期穩定性,再現性和重複性

· 由於電子學直接安裝在傳感器上,改進了溫度補償和EMC兼容性

· 對環境條件變化的敏感度的降低使得測量更穩定

· 快速預熱在開機的一分鍾內達到快速穩定和進入準備使用狀態

· 一鍵按鈕: 調零功能和設點調整

· 抗腐蝕超純陶瓷傳感器

· 能經受數百萬次壓強循環周期,包括大氣壓衝擊,無任何降低性能的跡象

· 暴露大氣壓後快速恢複,無需隔離閥

· 對蒸氣介質不敏感

· 先進的傳感器屏蔽 (磚利)延長真空計在汙染的工藝過程中的使用壽命

3 INFICON陶瓷技術

· 陶瓷技術的優越性

1)無記憶效應

2)陶瓷無疲勞問題

3)*好的溫度補償

4)**的零點穩定性

· 低使用成本

1)非凡的使用壽命

2)無需隔離閥

4 Sky CDG025D測量範圍

     

     

5加熱型薄膜規

     

6加熱型優點

· 零飄極小0.1%FS/年(幹淨真空環境)

· 更高的精度

· 環境溫度變換/環境壓力變化/環境氣流變化對精度無影響

· 比工藝更快的預熱啟動時間

· 快速恢複時間 大氣壓 < 1 min within 5mV

· 任意安裝角度

· 抗汙染,可有效抵抗工藝氣體或工藝產生氣體的腐蝕影響

7電容薄膜規的應用

要求高的應用條件下,**而快速的壓強測量

· 用於刻蝕,CVDPVDALD半導體設備製造,如太陽能光伏行業的PECVD用的很多,刻蝕上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比較多,抗汙染性能比較好。一般國內用的PECVD還有多晶爐上用的MKS的電容薄膜規622A/626A/627DINFICONCDG025D比較多,如德國Ruth&Rau公司的PECVD設備標配向日葵视频安卓下载苹果為MKS626B13TDE627D01TDC1B,質量流量計用的是1179BX23CR14VSPC1 800sccm/SiH41179BX5CR14NSPC1 2000sccm/NH3,國內用的好多PECVD設備上用的是INFICONCDG025D

· 資料貯存和顯示器製造設備

· 工業真空設備

· 常用高精度真空測量

三、熱電離規

1熱電離規原理

Richardson 效應: 高溫燈絲發射電子,高能量電子撞擊氣體分子,氣體分子的一個或多個電子被撞擊出去,形成帶正電的離子。

     

1)帶電離子被離子收集極捕捉收集放大輸出

2)離子流的大小與氣體壓力成比例關係

2兩種類型熱電離規

      

3熱電離型複合規

· HPG400

· BPG400/-SP/-SD/SR

· BPG402

· BCG450 B-A規,皮拉尼規,薄膜規三種型號複合在一起

4優點及應用

      

· BPG

 測量範圍寬,一個規管覆蓋13個量程5x10-10–1000 mbar

 精度高,極好的重複性5%

 燈絲材料鍍釔的銥絲有極好的抗氧化能力,皮拉尼自鎖保護,使燈絲並不會因突然暴露大氣而燒毀。

 方便的校準調節

 注意事項:

   ◆對氣體有選擇性

   ◆抗汙染能力弱

 普遍應用於從低到超高真空的測量

 在工業,半導體,研究行業應用廣泛

· BPG402

 雙燈絲,大大延長使用壽命

 電離規的工作可以自定義控製

 探頭備件自帶校準參數,保證精度與重複性

· HPG400

 電離規與皮拉尼的複合

 皮拉尼自鎖保護電離規

 電離規的工作啟動點可以一定範圍內自定義

 簡易的校準功能

 相對便宜的價格

· BCG450

 可調的電離規工作起點

 優良的重複性

 **的大氣端測量

    

四、冷電離規(潘寧規)

      

1冷電離規原理

通過氣體放電方式產生電子,通過磁場使電子獲得能量將氣體分子電離。

     

2潘寧規特點與應用

· 測量範圍:5 x 10-9 to 1 x 10-2 mbar

· 全金屬密封

· 無燈絲

· 易清洗

· 應用於普通的高真空測量

3冷規複合規MPG400特點與應用

     

· 冷規與皮拉尼規的複合

· 測量範圍廣: 5x10-9-1000 mbar

· 易於保養清洗

· 無高真空燈絲,

· 應用於普通高真空測量

4 冷規及複合規性能比較

      


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